勻膠機旋涂?jì)x采用高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，具有高轉速、高精度、旋轉穩定、涂層（厚度）均勻、操作簡(jiǎn)單快速等特點(diǎn)，適用于半導體、硅片、導電玻璃等材料表面的涂覆工藝。勻膠機旋涂?jì)x可以對不同尺寸（圓片及特殊尺寸）的基片進(jìn)行勻膠，設備體積小，占用空間少，PLC全自動(dòng)控制系統保證設備長(cháng)時(shí)間穩定運行，同時(shí)觸摸屏軟件為用戶(hù)提供友好的操作界面。
勻膠機旋涂?jì)x有很多種稱(chēng)謂，又稱(chēng)甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來(lái)說(shuō)，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
針對目前勻膠機旋涂?jì)x市場(chǎng)品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機旋涂?jì)x技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗。幫助廣大用戶(hù)提高辨別能力，為用戶(hù)提供了直觀(guān)明確的選擇標準。
從其原理來(lái)說(shuō)，我們可以看出選購勻膠機旋涂?jì)x需要注意的幾個(gè)細節“
1、 旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。國產(chǎn)的某些勻膠機旋涂?jì)x只能提供轉速范圍，并不能**標定實(shí)時(shí)的轉速。進(jìn)口的勻膠機旋涂?jì)x雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒(méi)有標準認定。建議購買(mǎi)轉速控制方面有認定標準的，比如：美國NIST標準等。
2、 真空吸附系統的構造
真空泵一定要無(wú)油的，壓力標定準確，國內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì )讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。用過(guò)國產(chǎn)勻膠機旋涂?jì)x的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機旋涂?jì)x做得不錯，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì )開(kāi)始旋轉。
3、 材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機旋涂?jì)x采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類(lèi)化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì )導致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
